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CYA131系列高温MEMS压力传感器
新型MEMS微纳电容式多功能传感器芯片的产业化
11. 基于IP库的通用MEMS器件可视化仿真与验证工具
3. 基于体积图形学的MEMS工艺仿真系统
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石油勘探MEMS高精度数字检波器产业化
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面向MEMS组装的微操作机器人
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