项目的背景及目的
迄今为止，集成电路的模拟、仿真直至评测已有了非常完善的工具软件；并已成为设计过程的重要组成部分；对设计的成功、可靠、高效都已起到决定性作用。而对MEMS而言，还相差甚远，这和MEMS发展的成熟程度有着直接关系。当然，这并不意味着MEMS不需要这样的工具和系统。相反，由于MEMS的功能多样、加工复杂、分析困难、设计周期长、成本高等。特别需要一个能包括运动仿真、评测在内的设计工具和系统。这是当前推动MEMS发展的当务之急。
技术原理与工艺流程
针对MEMS器件设计系统中机械性能仿真不足的问题，本课题前期提出了虚拟运行的概念，就是让器件的三维图形模型在虚拟环境中按照器件动态模型运行起来。虚拟运行对于MEMS 器件的机械性能评测，特别是定量的性能评测，无疑是至关重要的。虚拟运行的基础是器件动态模型，动态建模的困难影响了它的巨大效益的发挥。
设计与加工脱节是MEMS研制中另一个障碍，加工出来的器件会与设计的三维形状有一定程度的偏差；建立在这种带有实际偏差基础上的虚拟运行才更有说服力。因此，前期研究中提出的第二个概念：虚拟工艺。服务于建立通用的可视化的行为级仿真与验证系统的目的，虚拟工艺的目标是建立通用的可视化的工艺级仿真与验证系统。
MEMS设计中，通用的核心思想集中体现在IP库的概念中。将IP库的概念引进我们的研究工作，基于IP库的通用的MEMS器件可视化仿真与验证工具。
主要技术性能指标
1) 建立基于IP库的通用的MEMS器件可视化仿真与验证方法。
a) 包含标准的IP库。IP库中包含3个以上的宏模型。
b) 包含虚拟工艺功能；可用于工艺级仿真与验证。
c) 包含虚拟运行功能；可用于行为级仿真与验证。
2) 建立通用的可视化工艺仿真与工艺验证系统。
a) 建立一套基于Voxel的通用MEMS工艺仿真方法。
b) 建立一套通用的工艺仿真平台。
c) 建立一套通用的MEMS工艺验证系统。
3) 建立通用的行为级可视化仿真与验证系统。
a) 包含三类建模形式的行为级模型到IP库中标准宏模型的转换接口。
b) IP库中的器件可以通过虚拟运行实现行为级仿真与验证。
4) 利用上述系统完成新器件的设计，并实际加工制作、封装、测试，预期形成整个微系统。
技术水平及用途
本项目得到国家“863”计划项目支持，应用行业为1.航空2.生物 3.军事。MEMS的器件研究主要集中在传感器、光学MEMS、射频MEMS、微流体与生物MEMS等多个方面。人们不仅要开发制造MEMS 的各种技术，更重要的是如何将制成的MEMS 器件用于实际系统中，并从中受益。目前可以预见的应用领域包括汽车、航空航天、信息通讯、生物化学、医疗、自动控制、消费品及国防等。
应用前景分析及效益预测
课题针对Bosch/RIE/ISOTROPIC等工艺的二维仿真器研究相关成果，已经集成到IntelliSense公司MEMS设计软件之中，成为IntelliSense公司产品的一部分，实现了研究成果商品化。目前,本课题正在与IntelliSense公司进行基于Voxel的可视化软件方面的合作。这一外部环境使我们可以较方便地借助跨国公司的销售渠道，实现研究成果的商品化。
本课题研究成果与前期工作主要区别在于强调通用性，这就使得用户在应用该成果时会方便地继承前期使用其他设计系统的结果；同时该成果还可以方便地与其他设计软件或产品集成；这都会很大程度上促进研究成果应用和商品化。
