本项目创新性地研制MEMS集成压力/拉力/位移检测的多功能、高分辨率、和高灵敏度的微纳电子传感器芯(Micro/Nano-electronic Sensor Chips)，将填补国际上在微纳尺度应用于多功能传感检测的空白。本产品系利用微机电系统(MEMS)设计和加工技术的特殊优势，借助UV-LIGA(光刻、电铸)技术，通过可变电容和机械式正弦形弹簧相结合的方式实现微纳MEMS传感芯片的大规模制备。该新型传感器通过可变电容和机械式正弦形弹簧相结合的方式测量微力和位移，操作方便，价格低廉，精度高，发展前景好，市场潜力大。
合作方式面议
联系单位中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
联系人周扬
联系电话13912612332
邮箱yangzhou2008@sinano.ac.cn
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