该课题以光纤耦合作业为应用背景，从基础研究、单元技术开发、系统应用研究三个层次，对微操作机器人关键技术进行了深入研究。取得如下成果： 1、提出了压电陶瓷的迟滞数学模型，得到实验验证。 2、研制了系列化的压电陶瓷驱动电源，获得应用。 3、研制了三种微位移检测模块和全数字化的微定位控制器，获得应用。 4、研制出五自由度纳米级微驱动系统，达到纳米精度，获得应用。 5、研制出六自由度精密并联定位系统，达到亚微米级精度，获得应用。 6、研制出具有通用性并能够完成光纤精密作业的微操作机器人系统，达到如下指标：光纤间偏轴量：小于0.05µm，光纤间轴向倾斜角：小于30″，耦合功率衰耗：小于0.02dB，平均作业时间：小于18s。 技术水平 该项技术总体上居于国内领先地位，并达到了国际先进水平。
