成果名称：一种纳米氧化铝基钯膜石英晶体微天平传感器
成果拥有单位：长沙理工大学
成果简介：
石英晶体微天平传感器的核心部件是石英晶体片上金属电极的安装使用，目前较通用的电极材料有金（Au），因石英晶体片光滑、附着力小，安装时通常在电极材料与石英晶体片之间先加镀一层金属铝（Al），以增强电极材料在石英晶体片上的附着力，因此，加镀的金属铝层对石英晶体微天平传感器的制作具有十分重要的作用。然而，普通金属铝镀层在大多数无机盐和有机酸中具有好的化学稳定性，但易溶于稀硫酸、硝酸、氢氧化钠、氢氧化钾溶液中，使其应用受到限制；纳米三氧化二铝带正电性，具有优良的耐酸腐蚀能力、极高的机械强度和好的电气性能；而且金属钯（Pd）价格比金便宜，能耐氢氟酸、磷酸、高氯酸、盐酸和硫酸蒸气的侵蚀，是一种能抵御硫醇侵蚀作用、比金性能优越的金属材料。因此，本实用新型用金属钯替代金，即在石英晶体片上镀敷金属铝层后加镀一层纳米三氧化二铝膜层，再镀上金属钯层，不仅能增强电极材料与石英晶体片之间的附着力，而且具有很好的耐腐蚀性和稳定性，也将降低石英晶体微天平传感器的制作成本，使应用面得到拓宽。较传统技术成本降低50%，容易推广，取得了重要社会、环境、经济效益。
合作方式：与专利技术持有人协商确定。
知识产权及获奖情况：2014年授权实用新型。
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