该成果是制备太阳能光伏电池减反射膜的专用装备，适用于晶硅光伏电池生产线。项目解决了大功率等离子体技术、硅片注氢技术、强冷却技术、大型平板加热均匀性控制技术、载板自动传输系统等关键技术问题，采用模块化设计，整个生产工艺过程全自动操作，具有产能高、成膜效率高、性能稳定、操作简单等特点，同时具备完善的报警功能和安全互锁功能。该产品可实现稳定、连续地镀制减反射膜，整体性能达到国外同类产品水平。
合作方式本项目可采取代理销售等方式合作
联系单位中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
联系人周景玉
联系电话024—23826802
