项目名称: 384×288非制冷红外探测器
项目需求:
是否获得发明专利: 是（ ） 否（） 授权专利号：
项目所处阶段: 成果 （） 正在孵化（ ） 可产业化（ √）
项目联系人: 唐海韵 电话:028-83207286 邮箱:1469601313@qq.com
项目简介：
该项目在384×288非制冷红外探测器器件的总体设计、关键材料技术、微桥结构设计与制造工艺、专用读出电路等方面取得了创新成果：
1．首次建立了相关材料参数、工艺参数数据库，构建了器件设计仿真平台，实现了自顶而下的非制冷红外探测器正向设计。
2．提出了非金属元素原位掺杂及双反应气体溅射工艺方法，实现了6英寸高稳定性低1／f噪声氧化钒薄膜低温工艺。
3．发明了多层阶梯结构的电极连接方法及渐缓坡度的牺牲层工艺，强著提高了器件单元的支撑性能和电学连接稳定性。
4．发明了基于动态浓度控制的新型NiCr湿法腐蚀工艺方法，实现了6英寸高均匀性窄线宽关键电极图形化工艺。
5．提出了差分电流镜的偏置电路结构，有效降低了器件的噪声等效温差 (NETD)。
该项目与当前国内外同类器件的综合性能比较，主要技术指标达到国际先进水平(部分属国际领先水平)，打破了国外的技术封锁和垄断，该成果在红外监控系统中得到应用，效果好，具有广阔的市场前景，推动了该领域的技术发展。
