项目联系人: 唐海韵 电话:028-83207286 邮箱:1469601313@qq.com
项目简介：
该项目在320×240非制冷红外探测器器件总体设计、关键材料技术、微桥结构与制造工艺、读出电路等方面取得了创新成果：
1．首次建立了320×240非制冷红外探测器机理模型，并研发了仿真设计平台。
2．提出了在线质谱反馈控制及多层喷淋布气溅射工艺方法，并研制成功了氧化钒专用反应磁控溅射设备，实现了6英寸高均匀性高温度系数氧化钒薄膜工艺。
3，发明了含硅氨链结构的低膨胀系数聚酰亚胺牺牲层材料，显著降低了微腔结构的形变。
4．提出采用混频薄膜生长技术和应力缓冲层技术降低桥面应力的方法，大幅度改善了桥面的平整度。
5．基于源极负反馈与斩波稳定相结合的方法设计了低噪声运算放大器，并采用单电容相关双采样技术，有效降低了器件的NETD和提高了器件的占空比。
该项目与当前潮内外同类器件的综合性能比较结果表明，主要技术指标达到国际先进水平(部分属国际领先水平)，打破了国外的技术封锁和垄断，该成果在安防监测系统中得到应用，效果好，具有广阔的市场前景，推动了该领域的技术发展。
