成果简介：
完整的金刚石单晶生长工艺流水线主要包括金刚石晶籽基底预处理、外延生长单晶金刚石、电化学剥离单晶金刚石膜、切割、抛光等过程，而其中最关键的是采用微波辅助CVD(MWCVD)法进行外延单晶生长。该系统具有以下显著的特点：最优的微波和等离子体设计，
多天线配置使功率传送更有效和稳定， 在极低和极高气压下安全起辉。
本项目团队长期进行大面积单晶金刚石生长技术研究，积累了丰富的理论和实际经验。同时开展了面向市场化的技术研究，如对先进的引进设备进行技术消化，开发出符合国内技术和市场环境的大尺寸金刚石生长设备，为国内高品质大尺寸金刚石市场提供技术和设备的支持。项目成熟度可认定为三至四级。
合作方式：面议
联系方式：
联系人：赵轶杰 电话：0451-86403033/13945696409
