成果名称：耐深紫外激光辐照特种玻璃
成果拥有单位：厦门大学
成果简介：
耐ArF、F2深紫外激光辐照特种石英玻璃。ArF准分子激光193nm的透过率大于90%。F2准分子激光157nm的透过率大于80%。ArF、F2深紫外激光辐照时，玻璃不产生结构缺陷，不发出红色荧光。掌握了控制性能的关键技术。除了纯度以外，OH、H2含量范围、均匀性的控制及其关键技术。应用于深紫外光刻、光制导等。根据要求形状以及尺寸，投产条件不同。
合作方式：各种研发合作方式，欢迎洽谈。
联系方式：
联 系 人：周忠华
电话：13656008137
E-mail：zzh@xmu.edu.cn
