【技术开发单位】兵器工业集团公司北方夜视科技集团有限公司
【技术简介】利用微电子机械系统（MEMS）技术研制氧化钒非制冷红外探测器。公司重点拓展的领域是高端数模混合集成电路开发和MEMS（微机电）传感器和驱动器。公司研发团队的主要人员均有海外学习和工作经历，人员背景包括集成电路设计，MEMS传感器设计，半导体工艺开发与集成，材料科学，电子封装，系统集成，图像处理等。
【技术特点】微电子机械系统（MEMS）技术是一种微细加工技术，它可将信息获取、处理和执行等功能集成，具有微小、智能、可执行、可集成、工艺兼容性好、成本低等优点。将MEMS用于非制冷红外探测器的研制能够使器件向高可靠性、微型化、智能化、高密度阵列集成和低成本、高精度、可批量生产等方向发展。
【技术水平】 主要技术指标：
速度：25～100 Hz
热响应时间：3～10 ms
响应率：5～25 mV/K
NETD：小于等于40 mK
空间噪声：＜0.5 NETD
像元中心间距：20～45 um
阵列：160×120，384×288，640×512
盲元率：＜0.1%
动态范围：＞70 dB
【可应用领域和范围】我公司生产的非制冷红外探测器系列产品, 适用于消防、电力、建筑、安防等民用领域，实现夜视观测、制导、车载探测和温度测量等功能。
【技术状态】 批量生产阶段
【投入需求】建立一条6英寸探测器圆片生产线，投入约为8000万元人民币。主要投入的设备有光刻机，显影机，金属刻蚀机，非金属刻蚀机，清洗机，甩干机，溅射机，CVD，涂胶机，固胶机，退火炉，和各种量测设备，如CDSEM，探针台，台阶仪，应力仪，膜厚仪，4探针检测仪，缺陷检测仪等。
【预期效益】产能为年产5万只各类探测器，根据目前市场情况，售价为3000至5000元人民币，销售额在两亿元人民币左右，毛利在50%左右。
【联系方式】唐毅松 010-88829603 0871-5105610
