CXM系列移相式数字波面干涉仪是光、机、电、算相结合,融硬、软件于一体的高精度、实时快速的智能化仪器。有多种不同的型号,适应于不同的口径的光学元件的参数测试要求。项目曾获国家科技进步二等奖,兵器工业总公司科技进步一等奖,江苏省科技进步二等奖. 技术指标: 1、数字化波面测试原理:采用国际上最先进的移相(PZT、激光波长调谐)干涉术原理; 2、光电自动控制:仪器的倍率、焦距和光强采用机电自动控制; 3、强大的软件功能 4、测试参数齐全 1)可测试平面面形、棱镜的直角偏差、激光棒透射波前畸变、望远系统的波差等; 2)仪器配有系列标准球面镜头,相对孔径分别为 1/0.7,1/1.5,1/3,1/5,1/7,1/11,用于测量不同相对孔径的球面面形、透镜系统; 3)给出波面的波像差(光程差),峰谷值(PV)、标准偏差(RMS); 4)给出 Zernike 多项式像差系数,光学系统的几何点列图、点扩散函数、调制传递函数。