【技术简介】通过对外延设备在硅片上再生长一层外延层的控制、不同的参杂等，可满足不同客户的产品需求。外延工艺是以 SiHCl3为源，通过中频加热方式进行气相淀积，电阻率、厚度、均匀性和重复性均能得到较好的控制。
【技术特点】已完全掌握6～8英寸硅外延工艺和技术，产品及工艺技术水平国内领先，国际先进，不存在新的技术难题。已有多个6～8英寸产品，产品性能在国内处于领先地位，达到甚至优于国外同类产品水平。
【技术水平】五十五所国盛公司是国内最早批量生产硅外延片、技术成熟和发展迅速的外延厂商之一，第一批认定的国家鼓励的集成电路企业，具有较强的硅外延片设计开发能力，拥有了自主研发的批生产技术和多项专利，并主持制定了多项国家标准。产品种类丰富，4、5、6、8英寸兼有，并在国内P型外延片和MOSFET用外延片市场处于领先地位。
【可应用领域和范围】硅外延片是制作半导体器件和集成电路的关键材料，可以广泛应用在消费电子、计算机与外设、网络通讯设备及仪器仪表、汽车电子、显示器以及电子照明等多个方面。
【专利状态】核心技术获授权发明专利3项。
【技术状态】批量生产阶段
【合作方式】合作开发
【投入需求】外延设备及辅助设备采购共需投入1.68亿元。
【预期效益】达产后新增产能120万片/年（等效六英寸），实现年销售收入33600万元，平均净利润每年4500万元。
【联系方式】刘洋 025-86858681
