【技术简介】我国对于超纯度电子气体的研究前后经历了20多年的努力，开发出了一批特种气体，可以基本满足中小规模集成电路用的气体，但对于超大(VLSI)和特大(ULSI)规模集成电路的用气仍然存在技术空白，尤其是纯度超过6N的气体全部依靠进口来解决。
本项目的实施，将从根本上改变当前我国高纯电子气体严重受制于国外的现状，增强产品在国际市场上的竞争力。同时，项目718所积极致力于探索出一条高纯电子气体供应商与半导体制造企业之间的全新的合作模式，让半导体企业在安全共赢的前提下去支持和帮助国内拥有自主知识产权的高纯电子气体产业快速发展，从而使我国半导体产业健康有序地发展。项目研发涉及的高纯电子气体虽然各不相同，但在合成工艺和纯化工艺上有许多关键共性技术，在本项目实施过程中，718所将着力进行共性技术的研发和突破，计划研发的关键共性技术主要有：制备高纯电子气体的大功率电解技术，高纯电子气体的深度纯化技术，高纯电子气体的净化技术的研究以及高纯电子气体分析检测技术。
通过对10种特种电子气体的研发与试生产，完成应用于IC制造过程中的外延、离子注入、扩散、蚀刻、沉积、清洗等工艺，使我国的民族电子信息产业取得蓬勃发展。
【技术特点】电子气体作为一种非常重要的半导体材料，而其中杂质含量的高低不仅反映了生产过程的操作水平，而且对下游生产过程的工艺操作、设备运行乃至产品质量都将产生重要的影响和制约作用。随着电子技术向高性能、多功能、大容量、微型化和批量化方向的发展,对高纯气体提出了更高的技术要求 ,更重要的是对洁净度提出了苛刻的要求。本项目解决的关键技术为：
（1）纯化技术。在产品分离过程中，我们根据原料中含有杂质的种类、浓度对吸附剂作物理和化学处理，成功地将干性吸附剂运用在提纯工艺中，提高吸附剂的吸附选择性，具有吸附和催化两种功能。这在国内民用领域应尚无先例。
（2）净化技术；
（3）高精度分析检测技术。对金属杂质的分析，主要是建立气相超净吸收方法，保证样品处理无污染，准确度高，通过电感耦合等离子质谱对样品直接测定，检测方法精确、可靠。
（4）气体洁净充装技术；
（5）高纯混合气体配制系统研发。目前国内半导体企业使用的高纯混合气体多数是进口，本项目在实施过程中，计划开发出纯度高、稳定性好的混合配气系统和装置，生产出适合用户要求的混合气产品，逐步替代进口产品。
【技术指标】六氟乙烷纯度达到99.9993%，产能达到50吨/年；八氟丙烷纯度达到99.9995%，产能达到30吨/年；八氟环丁烷纯度达到99.9993%，产能达到50吨/年；四氟化硅纯度达到99.999%，产能达到50吨/年；氟化氢纯度达到99.999%，产能达到30吨/年；氯化氢纯度达到99.999%，产能达到50吨/年；六氟化钨纯度达到99.999%，产能达到150吨/年；碳酰氟纯度达到99.9%，产能达到30吨/年；三氟化氯纯度达到99.9%，产能达到50吨/年；高纯电子混合器产能达到10000瓶/年。
【技术水平】国内领先
【可应用领域和范围】本技术主要应用于IC制造过程中的外延、离子注入、扩散、蚀刻、沉积、清洗等关键工艺。
【专利状态】已申请专利2项
【技术状态】小批量生产、工程应用阶段
【合作方式】融资需求
【投入需求】面议
【转化周期】2年
【预期效益】本项目完成后，我单位将成为我国最大的高纯电子特种气体研发与生产基地，年产各种高纯电子气体2000余吨，新增5亿元左右的年销售收入，使我国高纯电子气体的生产能力进入世界前列，同时带动集成电路、化工、机械、液晶面板制造、太阳能等上下游企业的发展，为我国半导体产业的发展提供助力。
【联系方式】董 强0310-7189618/13082113282
